重庆某半导体行业鑫霖环保芯片制作厂,晶圆制作期间中诞生含硅、氟的特异生活污水,构思治疗整体规模1200吨/日。生活污水成分表繁复,含纳米级级硅小粒及氢氧化钠,经典治疗形式没办法考核标准。
废水处理工艺物质及收入
核心环境污染源
:固体硅(100-500nm比表面积)、氟阳离子(200-300mg/L)、异丙醇
因素步骤
:晶圆刻蚀生活污水(45%)、CMP生物机磨光生活污水(40%)、生产设备清洁水(15%)
工作艺环节
的创新选择"有机化学凝固+特中膜分离出来"新技术线路:
钙盐沉定
:加药氯化钙去掉氟铁离子(转化成CaF2发展)
斜板沉淀池不起作用
:组合水解酸化池剂改变固体硅脱稳
管式微滤
:0.1μm孔直径膜挪作他用微细颗粒状
反融合整体
:脱盐率>98%,回收分类处理率75%
化掉成果
:浓水段完成氟化物达标排放物
最终能够效果好
氟化物密度:<8mg/L(如果低于祖国考试内容一级标准规定10mg/L)
硅分量:<5mg/L
水成本中水回用率:70%代替一系列封闭式冷却塔保湿
垃圾限制:多效蒸发残留量较常用艺限制60%