该经典案例来源西北沿海地区一个门头半导体技术制做制造业单位,具体出产集成化电路系统存储芯片。在出产过程中中,晶圆刷洗、蚀刻等环节需适用过多光电子级磷酸(纯净度≥85%),从而发生高有机废气浓度含磷污废水 。制造业单位和原有治理服务设施没有能够满足日渐严厉的减排的标准(TP≤0.5mg/L),急需用钱更新升级处理。
生产废水组成及的来源
工业废液处理工艺其主要因素于三种流程:晶圆洁净工业废液处理工艺(占总蓄水量60%)、仪器清洗阴道工业废液处理工艺(30%)各类路面清洗阴道工业废液处理工艺(10%)。饮用水共同点表面为:pH值1.5-2.5,总磷酸度800-1200mg/L,氟阴阳离子含碳量50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并含少量天价属(铜、锌等)。
处理工序流程图
产品适用"预清理+化学物质沉积+高等腐蚀+淬硬层过虑"的組合工艺设备:
调接池
:均等化水的硬度用水量,安装有pH上线监测器整体
6级症状池
:加药制作石灰乳调试pH至8.5-9.0,转变成Ca3(PO4)2放置
一级生理反应池
:加PAC和PAM加强水解酸化池感觉
斜板沉淀物池
:达到固液分离出来,淤泥进人甩干系统
Fenton被氧化单元测试
:H2O2与Fe²⁺联合使用分解有机的物
多有机溶剂滤水器
:石英石砂+灵活性炭吸附组合构成过滤程序,保障满水后清澈见底
铝离子交易系统
:进几步去掉残存塑料阴离子
从而实际效果
软件系统工作稳定的后,出液水硬度:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟阴离子≤5mg/L,四项指标值更为重要《电子器件鑫霖环保水环境破坏物排污标准化》(GB 39731-2020)。每一年减低磷排污约15吨,生活污水呈现量较经典工艺设备降底40%,工作成本费把控好在8.两元/吨水。