该晶圆手工出产厂家处在华北地域,核心出产89英寸光电器件晶圆,每日化工废水释放物量约800吨。主要是因为出产阶段中操作很大氢氧化钠完成晶圆蚀刻,影响化工废泥里氟化物盐浓度多达200-300mg/L,远超的国家释放物基准(10mg/L这)。
生产废水化学成分及源
生产废水最主要的来于八个部分:
晶圆蚀刻步骤
:含容液值氟化物(HF)、硝酸铵及一点高价属
普通自动化机械自动化机械打蜡 (CMP)生活污水
:含納米级硅粒子、有机质络合剂
机械除垢生产废水
:含异丙醇、氯离子等设计物
清理工艺设计流程步骤
用"化学反应积淀+混疑积淀+深度1吸附"两级处置系统的:
特一级处理
:添加氯化钙和氢氧化物钙,达成氟化钙沉定,氟化物去掉率达85%
二次处理
:加上PAC(汇聚氯化铝)和PAM(pp聚丙烯酰胺),清理固体态严重污渍
两级除理
:借助多材质管道过滤器器和抗逆性炭粘附,喷水氟化物密度不稳定性在8mg/L以內
重要的机 涉及:pH手动缓解系统的、斜管乳浊液池、板框压泥机(废水甩干)。
以后使用效果
的项目启动三年期监测站数剧表示:
氟化物最低值盐浓度:7.2mg/L(降到国家行业标准单位)
COD清理率:92%
淤泥水分含量率:≤65%
年回收分类处理氟化钙副企业产品约150吨,推动自然无害化运用